金融界2024年11月4日新闻，邦度常识产权局新闻显示，拓荆创益（沈阳）半导体摆设有限公司获得一项名为“抽气上盖、气体传输机构及薄膜重积安装”的专利，授权布告号CN 221940608 U，申请日期为2023年11月。

　　专利摘要显示，本适用新型供应了一种抽气上盖、气体传输机构，以及薄膜重积安装。所述抽气上盖网罗：上盖本体，网罗樊篱罩上板及众块樊篱罩侧板；以及排风管，经由所述樊篱罩上板伸入所述上盖本体，用于对所述上盖本体抽气，以带走位于所述上盖本体的加热带爆发的颗粒污染。基于上述组织，本适用新型能够用于对上盖两侧举办匀称抽气，从而处分升温后加热带惹起的颗粒度题目，以升高薄膜的质地和匀称性。

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